電真空器件清潔處理

　　電真空器件要求零件和部件表面潔凈度高、沒有油污。研究在制造真空電子器件工藝過程中油污對電鍍、釬焊和衰減材料涂覆的影響。提出采用超聲加去油溶液的方式去除制管過程中的油污，確定了電真空器件的清洗工藝，保證其清潔性。降低器件表面的出氣率，保證陰極發(fā)射水平和電子槍的耐壓強度，提高器件的可靠性和使用壽命。

引言
隨著空間科學(xué)技術(shù)的發(fā)展及國防現(xiàn)代化軍事裝備的需要，電真空器件必須具有高可靠、長壽命、低噪音、寬頻帶、大功率的特點，常應(yīng)用于地面、艦載、機載、衛(wèi)星通訊、雷達、電子對抗、精確制導(dǎo)等武器系統(tǒng)中，其性能和質(zhì)量的優(yōu)劣對武器裝備的性能和質(zhì)量起至關(guān)重要的作用，被譽為國家安全的戰(zhàn)略器件。電子管是現(xiàn)代高技術(shù)電子裝備發(fā)展的關(guān)鍵與核心器件之一。

　　研究電真空零部件的表面清洗處理是很有必要，因為污染物所造成的氣體、蒸氣源會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。此外，由于污染物的存在，還會影響電真空部件連接處的強度和密封性能，對電真空器件的性能有極大的影響。

1、電真空器件污染物的主要來源
(1)在加工原材料過程中，所使用的潤滑油；

　　(2)操作人員手上的臟物和唾液，因為在制造電真空器件，主要靠人力手動完成裝配，工作時不可避免的對零部件造成污染；

　　(3)去油過程中溶劑的殘余物。例如：自來水中的鹽類和有機物質(zhì)，金屬零件使用的金屬去油劑等；

　　(4)零部件存放時，空氣中含有灰塵、水蒸氣等。

2、油污對制造電真空器件的影響
(1)制造真空電子器件的工藝過程中，為了提高金屬零件之間的可焊性及管外零件的防腐性，對部分管內(nèi)、外零件需要進行電鍍處理，而電鍍工藝過程中，零件表面的油污必須去除干凈，否則對鍍層會有影響，可使其起泡、發(fā)花等。

　　(2)在使用釬焊爐、真空爐、氫氣爐、烘排爐，要求零部件表面干凈、沒有油污。若零部件表面有油污會污染爐內(nèi)環(huán)境，使真空度下降。零部件表面有油污會吸附氣體，在整管完成后，隨著真空器件的存儲放置時間，油污吸附的氣體會慢慢釋放，使整管內(nèi)真空度下降。超高真空系統(tǒng)中，做好材料表面的清潔處理，可以使其放氣率降低幾個數(shù)量級。不銹鋼在空氣中暴露，出氣體率為2.7×10-1 Pa·L/(s·m2)，而經(jīng)過除油后抽4 h，可降低到1.3×10-3 Pa·L/(s·m2)，經(jīng)過清洗后，在250 ℃下烘烤15 h，出氣率降到1.3×10-6 Pa·L/(s·m2)。

　　(3)電真空焊料具有真空氣密性好、耐熱沖擊性強、封接強度高。電真空器件的釬焊可焊接不同種類的金屬和合金零件，甚至能將金屬與陶瓷連接起來，把微小的零件連接成大而復(fù)雜的部件，同時可以保證零件的光潔度和精密尺寸。

　　焊料的質(zhì)量直接影響電真空器件焊縫及內(nèi)部質(zhì)量。電真空器件焊接后，經(jīng)過氦質(zhì)譜儀檢漏，漏氣速率要求達5×10-9 Pa·m3/s以下。真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.chvacuum.com/)認(rèn)為如果電真空器件使用的焊料表面不潔凈、有油污，使焊接材料表面的潤濕性和流散型不好，焊料熔化后，在焊縫表面會形成黑色的浮渣或黑斑，造成氣孔，破壞焊縫的氣密性，發(fā)生泄漏現(xiàn)象，影響電真空器件的真空性能，造成電真空器件的慢性漏氣，導(dǎo)致器件最終失效報廢。

　　(4)通過對諧振腔加載降低其品質(zhì)因子，在諧振腔壁和底部涂覆微波衰減材料是降低品質(zhì)因子的有效防范。鐵硅鋁薄膜微波衰減材料是一種高性能微波衰減材料，可通過涂覆和燒結(jié)方法將其制備在無氧銅諧振腔壁上，形成衰減涂層。在涂覆前應(yīng)將無氧銅基底進行毛化處理，并根據(jù)涂覆規(guī)范在諧振腔內(nèi)表面涂覆衰減材料，涂覆后的工件在濕氫氣氛下進行高溫?zé)Y(jié)。無氧銅基體需要確保表面沒有油污，才可進行毛化處理，而且處理后，還需要再進行一次去油污處理，之后才可在無氧銅基體表面涂覆衰減材料。油污可以使衰減材料與基體結(jié)合力變差，若零件表面有油污，導(dǎo)致在基體表面上涂覆衰減材料后，燒結(jié)過后衰減材料可能發(fā)生脫落，更嚴(yán)重的是可能電真空器件在使用一段時間后，無氧銅上的衰減材料發(fā)生脫落，此時會造成更大的損失。

3、零件表面的物理化學(xué)清潔處理
對零件表面處理的方法有許多種，但由于電真空器件工藝的特殊性，實際可行的方法很少，大多是從經(jīng)驗得來，理論依據(jù)不足，所以，即使比較典型的清潔方法，也需要不斷的進行修改和補充。

　　在各種不同的清洗方法中，一般以化學(xué)處理為主。在通常的化學(xué)處理不能得到很好的預(yù)期效果或者需要高度清潔的表面時，使用電加工，如電解、電拋光、電鍍等作為輔助辦法。帶有非皂化油的金屬零件經(jīng)過950 ℃高溫處理后，接觸角沒有變化，說明高溫處理不能夠提高零件的表面清潔度。通過對不同清洗方式的清洗效果比較，提出使用超聲波清洗技術(shù)，超聲波儀器內(nèi)加入去油液體，加溫和超聲共同作用，不但能去除零件表面油脂，而且能去掉其他雜質(zhì)，尤其對精密復(fù)雜的零件更加有效。